無(wú)接觸硅片測(cè)試儀:NCS-R80
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
phys-R80 無(wú)接觸硅片測(cè)試儀是一款用于硅片的厚度、電阻率測(cè)量的專業(yè)儀器，該儀器適用于Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料，所有的設(shè)計(jì)都符合ASTM(美國(guó)材料實(shí)驗(yàn)協(xié)會(huì))和Semi標(biāo)準(zhǔn)，確保與其他工藝儀器的兼容與統(tǒng)一。
產(chǎn)品特點(diǎn)
■無(wú)接觸無(wú)損傷測(cè)量
■電阻率和厚度同時(shí)測(cè)量
■適用的晶圓材料包括Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料
■電腦觸摸屏顯示
■抗干擾強(qiáng)，穩(wěn)定性好
■強(qiáng)大的工控機(jī)控制和大屏幕顯示
■一體化設(shè)計(jì)操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定
■為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供精確的無(wú)接觸測(cè)量
技術(shù)指標(biāo)
■測(cè)試尺寸：50mm-300mm.
■厚度測(cè)試范圍：1000 um，可擴(kuò)展到1700 um
■ 厚度測(cè)試精度：+/-0.25um
■ 厚度重復(fù)性精度：0.050um
■ TTV 測(cè)試精度: +/-0.05um
■ TTV重復(fù)性精度: 0.050um
■彎曲度測(cè)試范圍: +/-500um
■彎曲度測(cè)試精度: +/-2um
■彎曲度測(cè)試重復(fù)性精度:0.75um
■電阻率測(cè)試范圍：0.1ohm.cm——50 ohm.cm
■ 電阻率測(cè)試精度：+/- 2%
■ 電阻率測(cè)量重復(fù)精度：+/- 1%
■ 材料：Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有半導(dǎo)體材料
■ 可用在：切片后、磨片前、后，蝕刻，拋光以及出廠、入廠質(zhì)量檢測(cè)等
