HS-WDI研究級(jí)數(shù)碼金相顯微鏡
北京合能陽(yáng)光新能源技術(shù)有限公司成功地設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)出高性能HS-WDI型高級(jí)數(shù)碼正置金相顯微鏡。選用優(yōu)質(zhì)的光學(xué)元件，使它具有出色的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可獲得高清晰的顯微圖像，成像效果可與進(jìn)口顯微鏡媲美。高效優(yōu)異的數(shù)碼功能，成像清晰，實(shí)時(shí)視頻圖像，同步顯示，色彩清晰、真實(shí)。廣泛應(yīng)用于多種太陽(yáng)能和半導(dǎo)體等各個(gè)檢測(cè)領(lǐng)域。
產(chǎn)品應(yīng)用：
HS-WDI型金相顯微鏡是針對(duì)高端用戶的需求而研發(fā)的，作為高級(jí)金相顯微鏡，可廣泛應(yīng)用于金相材料檢驗(yàn)、半導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能硅片、電池片、薄膜電池、FPD、電路封裝、電路基板、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測(cè)。本儀器采用超大視場(chǎng)高級(jí)明暗場(chǎng)物鏡，超長(zhǎng)工作距離，高清晰視野。穩(wěn)定、高品質(zhì)的光學(xué)系統(tǒng)使成像更清晰，襯度更好。用戶在使用時(shí)能夠體驗(yàn)其超強(qiáng)性能，使您在工作中感到舒適和放松。
儀器特點(diǎn)：
? 金相顯微鏡鏡體：穩(wěn)定的底座及載物臺(tái)，確保良好的機(jī)械穩(wěn)定性，防震動(dòng)設(shè)計(jì)。各種調(diào)節(jié)及控制部件使用方
便，功能擴(kuò)展性強(qiáng)，適合金屬材料領(lǐng)域的研究、微電子及半導(dǎo)體硅片的研究檢測(cè)、工礦企業(yè)檢驗(yàn)使用。
? 采用正置式，最新的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng).
? 光源及光路采用長(zhǎng)壽命高亮度鹵素?zé)?，帶調(diào)光裝置?？讖焦怅@和視場(chǎng)光闌中心和大小可調(diào)。使用壽命在1000小時(shí)以上。鏡體內(nèi)置電壓平衡系統(tǒng),使圖像不會(huì)因電壓變化而閃爍。濾色片系統(tǒng)：配置日光矯正中性濾光片、藍(lán)色濾光片、綠色濾光片；目鏡配置測(cè)微尺0.01mm，用于長(zhǎng)度等的測(cè)量及定標(biāo)。
? 目鏡采用10倍高眼點(diǎn)超大視場(chǎng)雙目觀察，視場(chǎng)數(shù)不低于25mm，目鏡可根據(jù)使用者的曲光度進(jìn)行調(diào)節(jié)。
? 物鏡采用最新高精度長(zhǎng)工作距離無(wú)限遠(yuǎn)平場(chǎng)復(fù)消色差明場(chǎng)/暗場(chǎng)金相物鏡，三重色差校正,獨(dú)立克服色差像
差。使用高折射率低色散螢石材料及特殊鍍膜技術(shù)，能夠具有高分辨率、高對(duì)比度,良好的色彩還原；物鏡組環(huán)均為全金屬部件,保證物鏡內(nèi)多組透鏡光軸長(zhǎng)期使用不偏移。光學(xué)部件鍍膜具有防霉功能。
? 物鏡轉(zhuǎn)換器為四孔式,能夠同時(shí)安裝明場(chǎng)和偏光、定位精確、轉(zhuǎn)換物鏡視場(chǎng)不漂移。
? 數(shù)碼系統(tǒng)采用工業(yè)原裝彩色數(shù)字CCD攝像頭，與顯微鏡匹配使用，不低于300萬(wàn)有效象素，保證實(shí)時(shí)采集
到高清晰度、高色度和高色彩還原度圖片。
技術(shù)參數(shù)：
1. 目 鏡
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目 鏡 |
放大倍數(shù) |
視場(chǎng)（mm） |
|
大視場(chǎng)高眼點(diǎn)平場(chǎng)目鏡 |
10× |
∮25 |
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帶十字線刻度分劃目鏡 |
10× |
∮20 |
2. 物 鏡（標(biāo)配4個(gè)）
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物鏡 |
放大倍數(shù) |
數(shù)孔直徑 |
工作距離（mm） |
|
長(zhǎng)工作距離 無(wú)限遠(yuǎn)平場(chǎng) 明場(chǎng)/暗場(chǎng) 金相物鏡 |
5× |
0.15 |
26.4 |
|
10× |
0.25 |
16.0 |
|
|
20× |
0.40 |
10.6 |
|
|
40× |
0.50 |
5.4 |
|
|
100× |
0.80 |
3.0 |
3.光學(xué)系統(tǒng)：采用了UIS高分辨率、長(zhǎng)工作距離無(wú)限遠(yuǎn)光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。
4.放大倍數(shù)：50X-1000X
5.觀測(cè)方式：明場(chǎng)/暗場(chǎng)觀測(cè)、偏光觀測(cè)、微分干涉觀察（選配）。
6.轉(zhuǎn) 換 器：內(nèi)定位四孔轉(zhuǎn)換器
7.調(diào)焦系統(tǒng)：粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦，采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu),微動(dòng)格值0.002mm
8.偏光裝置：檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng)，起偏鏡檢偏鏡均可移出光路
9.濾光裝置：插板式濾色片（綠、藍(lán)、中性）
10.載物臺(tái)測(cè)微計(jì)：0.01mm,可用于測(cè)量微觀尺寸
11.分劃目鏡：0.1mm，與載物臺(tái)測(cè)微計(jì)配合使用，測(cè)量樣品尺寸
12.載 物 臺(tái)：二維移動(dòng)載物臺(tái)，低位同軸手輪操作X、Y移動(dòng)范圍：150mm×180mm
13.照明系統(tǒng)：采用非球面Kohler照明，增加觀察亮度，帶孔徑可變光欄和視場(chǎng)可變光欄
14.電源系統(tǒng)：90-260V / 50-60Hz
15.數(shù)碼系統(tǒng)：300萬(wàn)像素彩色CCD系統(tǒng)、轉(zhuǎn)接鏡頭、USB直接與電腦連接，方便快捷
16.測(cè)量軟件：可實(shí)現(xiàn)對(duì)集成電路的線寬、線距、角度、兩點(diǎn)間距離、圓、平行線間距離、
任意曲線長(zhǎng)度、任意多邊形等的幾何尺寸測(cè)量。精度可達(dá)±1μm. 可拍照數(shù)碼
照片進(jìn)行分析、存儲(chǔ)、處理等。
儀器配置表
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顯微鏡型號(hào) |
HS-WDI |
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放大倍數(shù) |
50×、100×、400×、1000× |
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序號(hào) |
部件名稱 |
單位 |
數(shù)量 |
備注 |
|
1 |
金相顯微鏡本體 |
臺(tái) |
1 |
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1.1 |
顯微鏡鏡體 |
件 |
1 |
帶三目觀察頭 |
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1.2 |
高眼點(diǎn)視度可調(diào)超大場(chǎng)目鏡 |
個(gè) |
2 |
視場(chǎng)范圍不小于25mm |
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1.3 |
長(zhǎng)工作距離無(wú)限遠(yuǎn)平場(chǎng)復(fù)消色差 明/暗場(chǎng)金相物鏡 |
個(gè) |
1 |
5×/0.20 HD 工作距離≥29.5mm |
|
個(gè) |
1 |
10×/0.25 HD工作距離≥16.5mm |
||
|
個(gè) |
1 |
40×/0.50HD工作距離≥5.4mm |
||
|
個(gè) |
1 |
100×/0.80HD工作距離≥3.0mm |
||
|
1.4 |
轉(zhuǎn)換器 |
件 |
1 |
內(nèi)定位四孔轉(zhuǎn)換器 |
|
1.5 |
機(jī)械載物臺(tái) |
件 |
1 |
X方向 尺寸180mm |
|
件 |
1 |
Y方向 尺寸150mm |
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|
1.6 |
三維可調(diào)節(jié)燈室 |
|
|
聚光透鏡可通過(guò)旋鈕前后移動(dòng)，反光盒可通過(guò)旋鈕進(jìn)行三維調(diào)節(jié)移動(dòng) |
|
1.7 |
3位反射功能模塊盒 |
件 |
1 |
帶有孔徑光闌和視場(chǎng)光闌 中心和大小可調(diào) |
|
1.8 |
偏光裝置 |
件 |
1 |
起偏片，可移出光路 |
|
件 |
1 |
檢偏片，可360°旋轉(zhuǎn) |
||
|
1.9 |
明&暗場(chǎng)反射功能模塊 |
件 |
1 |
明/暗場(chǎng)反射光路 |
|
1.10 |
長(zhǎng)壽命高亮度鹵素?zé)?/span> |
個(gè) |
1 |
12V 50W ; 配有電壓平衡系統(tǒng) |
|
1.11 |
日光色差矯正濾色片 |
片 |
1 |
可隨意移出移進(jìn)光路 |
|
1.12 |
藍(lán)色矯正濾色片 |
片 |
1 |
可隨意移出移進(jìn)光路 |
|
1.13 |
綠色矯正濾色片 |
片 |
1 |
可隨意移出移進(jìn)光路 |
|
1.14 |
數(shù)碼接口適配鏡頭 |
件 |
1 |
連接數(shù)碼裝置 |
|
2 |
測(cè)微尺 |
件 |
1 |
0.01mm |
|
3 |
數(shù)碼攝像頭 |
件 |
1 |
不低于300萬(wàn)像素彩色CCD |
|
4 |
防塵罩 |
件 |
1 |
|
|
選 配 |
|
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|
1 |
專業(yè)金相分析軟件 |
|
|
見(jiàn)詳細(xì)說(shuō)明資料 |
|
2 |
電腦 |
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內(nèi)存大于1G,處理器速度大于2G |
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3 |
打印機(jī) |
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打印清晰照片 |
