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多晶由于沒有固定的晶向,具有晶界效應(yīng),測試多晶電阻率比測試單晶電阻率具有更復(fù)雜的工藝,用當(dāng)前的常規(guī)四探針電阻率測試法去測試多晶硅塊時,其測量出來的電阻率由于受到晶界效應(yīng)的影響,往往無法放映其真實的電阻率值,當(dāng)前能避開晶界效應(yīng)影響的測試方法,只有使用無接觸渦流測試法.