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厚度與TTV(總厚度變化)的指標隨著晶片尺寸不同而不同，詳細請看下表：
| 直徑(mm) | 50.8±0.2 | 100.0±0.2 | 150.0±0.2 |
| 中心點厚度 | 0.430±0.015 | 0.650±0.02 | 1.300±0.02 |
| 總厚度變化 | ≤0.01 | ≤0.02 | ≤0.02 |
