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單晶片缺陷
北京合能陽光綜合分析實驗室
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北京合能陽光綜合分析實驗室
無接觸硅片厚度TTV電阻率綜合測試系統(tǒng)
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晶向偏離度
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X射線衍射儀
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厚度/TTV
北京合能陽光綜合分析實驗室
半自動無接觸硅片測試儀
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導(dǎo)電型號
北京合能陽光綜合分析實驗室
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電阻率
北京合能陽光綜合分析實驗室
無接觸硅片厚度TTV電阻率綜合測試系統(tǒng)
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氧/碳含量
北京有色金屬研究總院分析測試技術(shù)研究所
氧、碳含量
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厚度/TTV
中科院微電子設(shè)備技術(shù)研究室
無接觸厚度測試儀
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電阻率
中科院微電子設(shè)備技術(shù)研究室
四探針電阻測試儀(CRESBOX)
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厚度/TTV
中科院微電子設(shè)備技術(shù)研究室
橢偏儀
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單晶片缺陷
中科院微電子設(shè)備技術(shù)研究室
研究級數(shù)碼金相顯微鏡
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氧/碳含量
中國電子科技集團公司第四十六研究所中世博實驗室
氧碳含量測試儀
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少子壽命
中國電子科技集團公司第四十六研究所中世博實驗室
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電阻率
中國電子科技集團公司第四十六研究所中世博實驗室
四探針電阻測試儀(CRESBOX)
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單晶片缺陷
北京有色金屬研究總院分析測試技術(shù)研究所
電子顯微鏡
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晶向偏離度
北京有色金屬研究總院分析測試技術(shù)研究所
X-Pert-MRD衍射儀
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氧/碳含量
北京有色金屬研究總院分析測試技術(shù)研究所
進口氧碳測試儀
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少子壽命
北京有色金屬研究總院分析測試技術(shù)研究所
少子壽命測試儀
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電阻率
北京有色金屬研究總院分析測試技術(shù)研究所
四探針
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少子壽命
萬向硅峰電子股份有限公司檢測中心
少子壽命測試儀
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單晶片缺陷
萬向硅峰電子股份有限公司檢測中心
研究級數(shù)碼金相顯微鏡
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晶向偏離度
萬向硅峰電子股份有限公司檢測中心
X射線衍射儀
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電阻率均勻性
萬向硅峰電子股份有限公司檢測中心
四探針
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導(dǎo)電型號
萬向硅峰電子股份有限公司檢測中心
導(dǎo)電型號測試儀
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彎曲度/翹曲度
萬向硅峰電子股份有限公司檢測中心
無接觸硅片厚度TTV電阻率綜合測試系統(tǒng)
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厚度/TTV
萬向硅峰電子股份有限公司檢測中心
無接觸硅片測試儀
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氧/碳含量
萬向硅峰電子股份有限公司檢測中心
氧碳含量測試儀
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電阻率
萬向硅峰電子股份有限公司檢測中心
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電阻率均勻性
中科院微電子設(shè)備技術(shù)研究室
四探針電阻測試儀(CRESBOX)
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單晶片缺陷
中科院微電子設(shè)備技術(shù)研究室
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金太陽檢測套餐
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